你的位置:首頁 > 測(cè)試測(cè)量 > 正文
詳解半導(dǎo)體器件C-V特性測(cè)試
發(fā)布時(shí)間:2019-12-05 責(zé)任編輯:lina
【導(dǎo)讀】交流 C-V 測(cè)試可以揭示材料的氧化層厚度,晶圓工藝的界面陷阱密度,摻雜濃度,摻雜分布以及載流子壽命等,通常使用交流 C-V 測(cè)試方式來評(píng)估新工藝,材料, 器件以及電路的質(zhì)量和可靠性等。
交流 C-V 測(cè)試可以揭示材料的氧化層厚度,晶圓工藝的界面陷阱密度,摻雜濃度,摻雜分布以及載流子壽命等,通常使用交流 C-V 測(cè)試方式來評(píng)估新工藝,材料, 器件以及電路的質(zhì)量和可靠性等。比如在 MOS 結(jié)構(gòu)中, C-V 測(cè)試可以方便的確定二氧化硅層厚度 dox、襯底 摻雜濃度 N、氧化層中可動(dòng)電荷面密度 Q1、和固定電 荷面密度 Qfc 等參數(shù)。
C-V 測(cè)試要求測(cè)試設(shè)備滿足寬頻率范圍的需求,同時(shí)連線簡(jiǎn)單,系統(tǒng)易于搭建,并具備系統(tǒng)補(bǔ)償功能,以補(bǔ)償系統(tǒng)寄生電容引入的誤差。
進(jìn)行 C-V 測(cè)量時(shí),通常在電容兩端施加直流偏壓,同時(shí)利用一個(gè)交流信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。一般這類測(cè)量中使用的交流信號(hào)頻率在 10KHz 到 10MHz 之間。所加載的 直流偏壓用作直流電壓掃描,掃描過程中測(cè)試待測(cè)器件待測(cè)器件的交流電壓和電流,從而計(jì)算出不同電壓下的電容值。
在 CV 特性測(cè)試方案中,同時(shí)集成了美國吉時(shí)利公司源表(SMU)和合作伙伴針對(duì) CV 測(cè)試設(shè)計(jì)的專用精 密 LCR 分析儀。源表 SMU 可以輸出正負(fù)電壓,電壓 輸出分辨率高達(dá) 500nV。同時(shí)配備的多款 LCR 表和 CT8001 直流偏置夾具,可以覆蓋 100Hz~ 1MHz 頻 率和正負(fù) 200V 電壓范圍內(nèi)的測(cè)試范圍。
方案特點(diǎn):
★包含 C-V(電容 - 電壓),C-T(電容 - 時(shí)間),C-F (電容 - 頻率)等多項(xiàng)測(cè)試測(cè)試功能,C-V 測(cè)試最 多同時(shí)支持測(cè)試四條不同頻率下的曲線
★測(cè)試和計(jì)算過程由軟件自動(dòng)執(zhí)行,能夠顯示數(shù)據(jù)和 曲線,節(jié)省時(shí)間
★提供外置直流偏壓盒,最高偏壓支持到正負(fù) 200V, 頻率范圍 100Hz - 1MHz。
★支持使用吉時(shí)利 24XX/26XX 系列源表提供偏壓
測(cè)試功能:
電壓 - 電容掃描測(cè)試
頻率 - 電容掃描測(cè)試
電容 - 時(shí)間掃描測(cè)試
MOS 器件二氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度等參數(shù)的計(jì)算
原始數(shù)據(jù)圖形化顯示和保存
MOS 電容的 C-V 特性測(cè)試方案
系統(tǒng)結(jié)構(gòu):
系統(tǒng)主要由源表、LCR 表、探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。 LCR 表支持的測(cè)量頻率范圍在 0.1Hz~ 30MHz。源表 (SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置,通過偏置夾具盒 CT8001 加載在待測(cè)件上。
LCR 表測(cè)試交流阻抗的方式是在 HCUR 端輸出交流電 流,在 LCUR 端測(cè)試電流,同時(shí)在 HPOT 和 LPOT 端 測(cè)量電壓值。電壓和電流通過鎖相環(huán)路同步測(cè)量,可 以精確地得到兩者之間的幅度和相位信息,繼而可以推算出交流阻抗參數(shù)。
典型方案配置:
系統(tǒng)參數(shù):
下表中參數(shù)以 PCA1000 LCR 表和 2450 源表組成的 C-V 測(cè)試系統(tǒng)為例:
安泰測(cè)試已為西安多所院校、企業(yè)和研究所提供吉時(shí)利源表現(xiàn)場(chǎng)演示,并獲得客戶的高度認(rèn)可,安泰測(cè)試將和泰克吉時(shí)利廠家一起,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)和全面的測(cè)試方案,為客戶解憂。
特別推薦
- 數(shù)字儀表與模擬儀表:它們有何區(qū)別?
- 基于APM32F411的移動(dòng)電源控制板應(yīng)用方案
- 基于GD32F407VET6主控芯片的永磁同步電機(jī)控制器設(shè)計(jì)
- 光迅科技發(fā)布O波DWDM光模塊
- 長光辰芯發(fā)布16MP全局快門CMOS圖像傳感器
- Murata推出更適合薄型設(shè)計(jì)應(yīng)用場(chǎng)景的3.3V輸入、12A輸出的DCDC轉(zhuǎn)換IC
- 合熠智能推出超小型激光光電傳感器,堅(jiān)固耐用,精準(zhǔn)檢測(cè)
技術(shù)文章更多>>
- 從幾大典型場(chǎng)景,看安森美賦能邊緣智能應(yīng)用的高性能“產(chǎn)品力”
- 【測(cè)試案例分享】 如何評(píng)估熱載流子引導(dǎo)的MOSFET衰退
- 深入探討適用于低功耗工業(yè)電機(jī)控制的CANopen協(xié)議
- 是德科技掀起新革命:通用示波器正式邁入14bit ADC時(shí)代
- DigiKey與 Lippincott 合作品牌煥新項(xiàng)目榮獲2025年度 Graphis 設(shè)計(jì)大賽金獎(jiǎng)
技術(shù)白皮書下載更多>>
- 車規(guī)與基于V2X的車輛協(xié)同主動(dòng)避撞技術(shù)展望
- 數(shù)字隔離助力新能源汽車安全隔離的新挑戰(zhàn)
- 汽車模塊拋負(fù)載的解決方案
- 車用連接器的安全創(chuàng)新應(yīng)用
- Melexis Actuators Business Unit
- Position / Current Sensors - Triaxis Hall
熱門搜索
保護(hù)器件
保險(xiǎn)絲管
北斗定位
北高智
貝能科技
背板連接器
背光器件
編碼器型號(hào)
便攜產(chǎn)品
便攜醫(yī)療
變?nèi)荻O管
變壓器
檳城電子
并網(wǎng)
撥動(dòng)開關(guān)
玻璃釉電容
剝線機(jī)
薄膜電容
薄膜電阻
薄膜開關(guān)
捕魚器
步進(jìn)電機(jī)
測(cè)力傳感器
測(cè)試測(cè)量
測(cè)試設(shè)備
拆解
場(chǎng)效應(yīng)管
超霸科技
超級(jí)本
超級(jí)電容