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IMEC等利用MEMS元件振動(dòng)發(fā)電達(dá)85μW

發(fā)布時(shí)間:2009-12-15 來(lái)源:電子元件技術(shù)網(wǎng)

新聞事件:
  • IMEC等聯(lián)合開發(fā)出將振動(dòng)能量轉(zhuǎn)換為電力的MEMS元件
  • 并獲得了最大85μW的電力

比利時(shí)研究機(jī)構(gòu)IMEC、荷蘭研究機(jī)構(gòu)Holst Centre與TNO在“2009 IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM 2009)”上宣布,聯(lián)合開發(fā)出了將振動(dòng)能量轉(zhuǎn)換為電力的MEMS元件,并獲得了最大85μW的電力。此前IMEC開發(fā)出的MEMS元件中,最大電力為60μW。

此次的元件是采用6英寸硅晶圓形成硅MEMS,然后在此處積層壓電材料AlN(氮化鋁)后制作出來(lái)的。原來(lái)壓電元件一直采用PZT(鋯鈦酸鉛)。AlN在積層時(shí)無(wú)需精密調(diào)整鋁(Al)與氮(N)的比例,積層速度比PZT快3倍。通過(guò)改變MEMS的尺寸等,元件的諧振頻率可設(shè)定在150~1200Hz的范圍內(nèi)。

另外,IMEC等還將該MEMS元件實(shí)際封裝于無(wú)線發(fā)送數(shù)據(jù)的溫度傳感器中。該溫度傳感器以10μW的電力工作,因此一旦施加加速度為0.64g、振動(dòng)頻率為353Hz的振動(dòng),便可每隔15秒向基站傳送溫度數(shù)據(jù)。
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