產品特性：

• 由檢測側滑的傳感器以及使各輪發(fā)生制動力的油壓單元構成
• 采用MEMS結構
• 抗振性將適應范圍擴大到了10kHz以下
• 采取了噪聲對策

適用范圍：

• 汽車

日立制作所和日立汽車系統(tǒng)（Hitachi Automotive Systems）于2009年10月宣布共同開發(fā)出了ESC（防側滑裝置）用傳感器（圖1）。該傳感器的特點是：提高了耐熱性及抗振性，可與發(fā)動機室內的油壓單元一體化。包括組裝成本在內，成本有望比原來降低50％。預定2012年開始量產。 ESC的系統(tǒng)由檢測側滑的傳感器以及使各輪發(fā)生制動力的油壓單元構成。現(xiàn)有系統(tǒng)大多在車室內配置傳感器，這時傳感器到發(fā)動機室油壓單元是用電纜線連接的。由于電纜線的成本昂貴，因此ESC在降低系統(tǒng)成本方面存在限制。

新傳感器由于提高了耐熱性及抗振性，因此可與油壓單元一體化。除了能夠省去傳感器與油壓單元間的電纜線之外，由于減少了組裝工序，還可降低成本。包括組裝工序在內，傳感器的成本可降低50％。

日立集團預計，以新興市場國家等為主要對象，車輛的低成本化及ESC配備的義務化將呈現(xiàn)出全球擴大趨勢。新傳感器可使ESC輕松配備到低價位車輛上。美國已開始采取在2012年之前將ESC的配備分階段進行義務化的措施，而且歐洲也展開了同樣的行動。

新開發(fā)的ESC傳感器采用MEMS結構，可通過一個傳感器來檢測角速度（單軸）和加速度（前后左右雙軸）。耐熱性從可用于車內（-40～85℃）的水平提高到了可用于發(fā)動機室（-40～125 ℃）的水平?？拐裥詫⑦m應范圍從原來的2kHz以下擴大到了10kHz以下。

新傳感器由MEMS中常見的固定部、可動部、連接固定部與可動部的彈簧，以及檢測可動部運動的電極構成。利用電極靜電容量隨著可動部的運動而發(fā)生變化的特性來檢測角速度和加速度（圖2）。檢測角速度的電極只有在彎道等使車輛轉向時才檢測信號。 新傳感器由于在發(fā)動機室中使用，因此包括固定部在內的底板可會因為熱膨脹而變形。為了使固定部的變形不會影響到可動部的運動，在彈簧的配置上下了工夫，不過日立并未公布相關細節(jié)。另外，為了確?？拐駝有?，還采取了噪聲對策。為了使發(fā)動機的振動不給傳感器電極的信號檢測造成影響，通過信號處理去除了與車輛行駛無關的約100Hz以上的噪聲。