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推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展需加強國產(chǎn)MOCVD設(shè)備開發(fā)

發(fā)布時間:2010-01-27 來源:電子元件技術(shù)網(wǎng)

機遇與挑戰(zhàn):
  • 國內(nèi)的MOCVD,關(guān)注的人多,做的人少
  • 我國MOCVD發(fā)展有喜有憂
  • 研制MOCVD設(shè)備應(yīng)集中各種資源
市場數(shù)據(jù):
  • 2009年MOCVD設(shè)備將達235臺左右,其中大部分依賴進口
  • 生產(chǎn)MOCVD設(shè)備必須由設(shè)備廠和MOCVD工藝人員相結(jié)合

第十一屆全國MOCVD學(xué)術(shù)會議于2010年1月12日在江蘇蘇州召開,為期2天,會議上跟許多專家和學(xué)者進行了交流,本次MOCVD探討的主要應(yīng)用集中在LED,太陽能/激光器方面的應(yīng)用也不少。國內(nèi)MOCVD的總體感覺是:關(guān)注的人多,做的人少。

我國MOCVD發(fā)展有喜有憂

目前我國在外延生長制造方面取得長足發(fā)展,在不同襯底(Al2O3、Si、SiC、AiN)上外延生長GaN材料,已開發(fā)出圖形化襯底外延、非極性或半極性外延等,提高內(nèi)量子效率和外量子效率方面,取得很好的研究成果,已經(jīng)研發(fā)出AlGaN深紫外(260nm-400nm)發(fā)光二極管,開發(fā)出1W的LED藍光芯片,做成白光的LED發(fā)光效率超過80lm/W,并研制出4元系A(chǔ)lGaInP紅光功率LED器件,發(fā)光效率約40lm/W,南昌大學(xué)研制出有自主知識產(chǎn)權(quán)的硅襯底生長GaN,并做出藍、綠LED芯片。

盡管如此,我們看到在LED核心外延設(shè)備MOCVD方面仍處于早期發(fā)展階段,在2008年我國有135臺生產(chǎn)用MOCVD設(shè)備,2009年MOCVD設(shè)備將增加100臺左右,但遺憾的是,這其中大部分依賴進口,當(dāng)中很少采用國產(chǎn)設(shè)備,武漢迪源光電科技公司總經(jīng)理董志江表示,“目前用于照明用大功率的特性襯底技術(shù)、加工穩(wěn)定性以及對外延效率的提升率與國外相比,差距逐漸縮小,但是目前生產(chǎn)性外延設(shè)備仍主要依賴進口,大陸市場仍缺乏競爭性的國產(chǎn)設(shè)備。”

我們發(fā)現(xiàn),盡管我們國家早在上世紀80年代就開始研制MOCVD設(shè)備,但大都是推出樣機后便音信全無,這其中有多方面的原因。一部分專家認為,投資比較分散、無法形成合力,缺乏市場化運作模式是國產(chǎn)MOCVD設(shè)備遲遲無法量產(chǎn)的根本性原因。

不過在本次會議上我們可喜地看到上游原材料以及MOCVD設(shè)備已經(jīng)有廠家或單位生產(chǎn),例如江蘇南大研制的MO源已經(jīng)獲得廣泛應(yīng)用,中科院半導(dǎo)體所(7×2”)、華中科技大學(xué)(與昭信集團合作)都宣布研制出新的自主生產(chǎn)型的MOCVD設(shè)備(但都無導(dǎo)入量產(chǎn)),在此之前,青島杰生光電和西安電子科技大學(xué)也研制出單片、3×2”和6×2”的MOCVD設(shè)備,同時也有不少單位對MOCVD設(shè)備的研制表現(xiàn)了濃厚的興趣,看得出,許多人已經(jīng)認識到MOCVD國產(chǎn)設(shè)備的缺失所帶來的挑戰(zhàn)和巨大商機。

研制MOCVD設(shè)備應(yīng)集中各種資源

在本次會議上,多位專家和業(yè)內(nèi)人士發(fā)表了他們對研制國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的看法,中科院西安光機所高鴻楷研究員認為,MOCVD設(shè)備的制造和其他工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的制造不一樣,MOCVD設(shè)備本身是一種多學(xué)科、高精度、高危險性,并且是機械性能與工藝性相結(jié)合的。

MOCVD設(shè)備制造過程中要用的機械學(xué)、光學(xué)、真空、氣體動力、化學(xué)、熱場分布、三廢處理以及電控方面的知識,還有一個條件就是要與MOCVD材料生長工藝的工程師相結(jié)合,只有這樣才能生產(chǎn)出合格好用的MOCVD設(shè)備來。只有懂工藝的人做設(shè)備不行,只搞機械的人做這個設(shè)備也不行,這就是現(xiàn)在為什么中國有些做科研儀器的單位其他設(shè)備做的很好,可是要讓他們單獨制造一臺MOCVD設(shè)備卻不那么容易,甚至不能完成。

“所以我認為要想真正地生產(chǎn)出完全合用的MOCVD設(shè)備必須由設(shè)備廠和MOCVD工藝人員相結(jié)合,一個辦法是設(shè)備廠聘用工藝人員參加,將工藝人員變成設(shè)備制造商之一,另一個辦法是設(shè)備廠和做工藝的單位合作,將制造好的設(shè)備放在做工藝的單位里使用,不斷地提供設(shè)備運行的情況,發(fā)現(xiàn)設(shè)備的不足之處和需要改進的地方,同時也總結(jié)材料的生長工藝過程,對控制軟件的改進提供參考。”高鴻楷表示。

會上一部分專家認為,MOCVD等關(guān)鍵裝備是一個體現(xiàn)國家意志的事,國家一定要大力地投入和全面地支持。除了整個系統(tǒng)外,還要重視關(guān)鍵零部件的制造和配套能力,比如高純度高質(zhì)量的石墨、水晶材料部件、不銹鋼材料和部件、材料的表面處理等,還有壓力、流量、溫度探測、各種真空泵等對于MOCVD都是必不可少的。


MOCVD設(shè)備是LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的最關(guān)鍵設(shè)備,對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用,國家相關(guān)部門應(yīng)集中各方研制MOCVD設(shè)備的單位的人才和資源,“打破現(xiàn)有一盤散沙、各自為政”的局面,集中投入進行重點開發(fā),解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù),掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù),并盡早實現(xiàn)MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會加快推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展,以及降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本,實現(xiàn)更大的產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

拜訪光學(xué)專家、蘇州大學(xué)精密光學(xué)工程中心主任余景池老師時也看到了他們在研制國產(chǎn)光學(xué)核心加工設(shè)備方面的成功范例,經(jīng)驗值得MOCVD業(yè)界借鑒。余景池老師透露目前他們正聯(lián)合蘇州大學(xué)、哈工大、西安交大等資源聯(lián)合成立一家公司,該公司匯集了國內(nèi)光學(xué)、精密機械、電子等各方專家,積極對國產(chǎn)光學(xué)核心加工設(shè)備(非球面)進行攻關(guān),“目前樣機已經(jīng)研制出來,下一步的工作是如何更好地完善。”

小結(jié)

我們認為,MOCVD國產(chǎn)項目一旦成功運作將會帶動一大批配套產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和進步。當(dāng)然,MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化的成功必定意味著LED成本的降低,關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)化會大大降低LED的制造成本。但是即使國產(chǎn)設(shè)備出來了也面臨企業(yè)不愿不敢采用國產(chǎn)設(shè)備的問題,針對這一問題不少專家呼吁國內(nèi)企業(yè)和科研院所要“大膽使用國產(chǎn)MOCVD設(shè)備,”——MOCVD事業(yè)的發(fā)展是全體產(chǎn)業(yè)的事情,只有這樣才能讓國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)進入良性發(fā)展軌道。
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