中心論點：

• 如今國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟
• MEMS加工方面與國外存在著較大差距
• MEMS量產(chǎn)起來仍然困難

• 與其擱置4寸生產(chǎn)線不如將其改造為MEMS生產(chǎn)線
• MEMS廠商在整體方案提供上也應繼續(xù)加強

上海傳感器協(xié)會秘書長顏重光，作為中國最早做傳感器的專家之一，近日表示如今國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著較大差距。

顏重光指出，MEMS與機械類傳感器相比，精度相對差一些，主要是由于半導體自身的溫度特性有關，但如果與單片機配合進行漂移補償，可以相應的增加精度。并且由于MEMS產(chǎn)品可以大批量生產(chǎn)，成本比較低因此非常適合消費類產(chǎn)品的應用。

但其同時談到，盡管伴隨著MEMS應用增加，出貨量成倍增長，量產(chǎn)起來仍然困難。主要原因是MEMS的加工方式與普通芯片不同，芯片為單面腐蝕而MEMS需要雙面腐蝕，因此需要增加相應的加工設備。

由于國內(nèi)芯片加工工藝水平的不斷上升，晶圓廠陸續(xù)上馬8寸、12寸生產(chǎn)線，此時4寸生產(chǎn)線面臨著淘汰，“與其擱置4寸生產(chǎn)線不如將其改造為MEMS生產(chǎn)線。”顏重光建議道。

在其最新的一篇文章中詳細分析了4寸生產(chǎn)線更新所需要的成本，可以看出轉(zhuǎn)產(chǎn)MEMS可以產(chǎn)生更多的利潤。不過顏重光表示，“實際上國內(nèi)進行轉(zhuǎn)產(chǎn)的企業(yè)并不多。MEMS與集成電路是截然不同的市場，很多人無法轉(zhuǎn)變觀念。”

MEMS由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)不一樣，因此需要多樣化加工方式，包括陀螺儀里面的齒輪、壓力傳感器的薄膜或者梁結(jié)構(gòu)、加速度計中的質(zhì)量塊或者氣泡等形式。因此這就給foundry廠帶來很大困難，很難有標準化工藝。盡管目前包括中芯國際等foundry都有MEMS代工業(yè)務，但也只限于針對生產(chǎn)線準備有MEMS制造工藝清單。因此，目前企業(yè)仍然自己開發(fā)工藝后交給foundry進行生產(chǎn)。

此外，顏重光還建議MEMS廠商在整體方案提供上也應繼續(xù)加強。