MEMS陀螺儀目前廣泛用在數(shù)字相機的電子防震設計、筆記型計算機的硬盤防摔落動態(tài)保護、3D空間鼠標、數(shù)字電子羅盤、汽車的電子穩(wěn)定控制(Electronic Stabilty Program；ESC/ESP)等系統(tǒng)設計之中，或是搭配自動控制系統(tǒng)、機器人控制手臂之動態(tài)平衡設計方案中。

有趣的是，目前多數(shù)以加速度計搭配陀螺儀通常經(jīng)過整合設計、來建構可進行動態(tài)追蹤與捕捉3D空間的完整運動軌跡，而取得3D動態(tài)軌跡后，除可實時產生定位數(shù)據(jù)供用戶搭配系統(tǒng)操控的人機接口應用外，也可以提供更高精細度的動態(tài)數(shù)據(jù)，讓體感控制、動態(tài)感測的反饋操控表現(xiàn)更為細致，讓系統(tǒng)提供更具現(xiàn)場感受的用戶使用體驗。
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以現(xiàn)有的陀螺儀MEMS組件為例，MEMS陀螺儀(Gyroscope)又名角速度計，其實MEMS陀螺儀的核心組件，是一組經(jīng)過硅制程的微加工機械組合，在硅結構設計上為參照一組如同音叉機制的運轉結構，其應用裝置的角速度感測，其工作原理為由相互正交之振動與轉動導致的交變科里奧利力，至于振動的物體由柔軟之彈性結構懸掛于基座上，MEMS陀螺儀整體動力學系統(tǒng)，是由2D彈性阻尼系統(tǒng)整合，系統(tǒng)中的振動和轉動所產生的科里奧利力將角速度之能量轉移至傳感模式，角速率轉換為特定感應結構的直向位移，透過MEMS的結構進而取得變化量的感測信息。

至于陀螺儀與加速計最大的不同是，陀螺儀的量測數(shù)據(jù)比較偏向斜度、偏航等動態(tài)信息，反而與重力、線性動作感測數(shù)據(jù)無關，陀螺儀多在偵測物體水平改變狀態(tài)時較能達到效用，無法如加速度計對于物體移動或移動動能具較高的感測能力。相反的，加速度計可在偵測物體移動狀態(tài)具較高實用效益，但卻無法感測物體的小幅角度改變。因而將加速度計與陀螺儀整合，即可讓動態(tài)感測系統(tǒng)同時具備直向速度與轉動數(shù)據(jù)的感測信息，讓動態(tài)感測系統(tǒng)的偵測范圍更全面、完整。

在MEMS的節(jié)能設計方面，在系統(tǒng)毋須使用動態(tài)感測應用時，MEMS可以搭配關閉部分功能達到高效節(jié)能效用。例如，在陀螺儀設計方案中，可將陀螺儀的傳遞訊號與調節(jié)電路區(qū)分為馬達驅動部份、加速傳感器感應電路兩大部份，馬達驅動部份為利用靜電驅動的原理令機械組件產生前／后振蕩，產生感測過程所需的諧振作用，至于感應部份為利用量測系統(tǒng)電容變化量，來取得科里奧利力的數(shù)值變化，于對應感應質點上所生成的微弱位移數(shù)據(jù)，將角速率變化量，轉換成對比角速度變化量之對應模擬訊號(或數(shù)字訊號)輸出。