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ST攜手研究機(jī)構(gòu)開發(fā)下一代MEMS的試制生產(chǎn)線

發(fā)布時間:2013-04-14 來源:電子元件技術(shù)網(wǎng) 責(zé)任編輯:hedyxing

【導(dǎo)讀】ST與研究機(jī)構(gòu)展開合作,攜手開發(fā)下一代MEMS器件的試制生產(chǎn)線。ENIAC試制項目Lab4MEMS運用ST整套MEMS 設(shè)施,開發(fā)下一代MEMS應(yīng)用所需關(guān)鍵技術(shù)。

下一代MEMS器件將采用壓電或磁性材料和3D封裝等先進(jìn)技術(shù)以增強(qiáng)MEMS產(chǎn)品的功能性。該項目由納米電子行業(yè)公私合營組織歐洲納米計劃顧問委員會(ENIAC)合作組織(JU)發(fā)起。 

ST攜手研究機(jī)構(gòu)開發(fā)下一代MEMS的試制生產(chǎn)線
ST攜手研究機(jī)構(gòu)開發(fā)下一代MEMS的試制生產(chǎn)線

為運作這個2800萬歐元為期30個月的Lab4MEMS項目,意法半導(dǎo)體與橫跨9個歐洲國家的大學(xué)、研究機(jī)構(gòu)和技術(shù)授權(quán)組織進(jìn)行合作。該項目運用意法半導(dǎo)體在法國、意大利和馬耳他的MEMS設(shè)施建立一整套集研制測試封裝于一體的下一代MEMS制造能力中心。

意法半導(dǎo)體擁有800余項MEMS專利,產(chǎn)品銷量已突破30億顆大關(guān),自營產(chǎn)能日產(chǎn)量超過400萬顆,這些驕人的業(yè)績讓意法半導(dǎo)體成為Lab4MEMS項目進(jìn)行下一代MEMS研究的領(lǐng)導(dǎo)者。該項目將開發(fā)壓電(PZT)薄膜等技術(shù)以增強(qiáng)現(xiàn)有純硅MEMS的特性,如下一代MEMS將實現(xiàn)更大的位移、更高的感應(yīng)功能及能量密度。智能傳感器、執(zhí)行器、微泵和能量收集器的制造需要這些先進(jìn)技術(shù),以滿足未來數(shù)據(jù)存儲器、噴墨打印機(jī)、醫(yī)療保健設(shè)備、汽車電子系統(tǒng)、工業(yè)控制和智能樓宇以及智能手機(jī)和導(dǎo)航設(shè)備等消費電子應(yīng)用的需求。

該項目還將開發(fā)先進(jìn)封裝技術(shù)和芯片垂直互連技術(shù),采用倒裝片、芯片通孔、封裝通孔技術(shù)實現(xiàn)3D集成器件,滿足人體局部傳感器和遠(yuǎn)程健康監(jiān)護(hù)應(yīng)用的需求。完善適合量產(chǎn)的壓電沉積制程,并將其整合至復(fù)雜的MEMS制程,在系統(tǒng)級芯片上實現(xiàn)創(chuàng)新的執(zhí)行器和傳感器,是該項目的主要目標(biāo)之一。

Lab4MEMS是ENIAC JU簽定的一個關(guān)鍵使能技術(shù)(KET)試制項目,旨在于開發(fā)對社會影響重大的技術(shù)和應(yīng)用領(lǐng)域。意法半導(dǎo)體歐洲研發(fā)與公共事務(wù)部項目經(jīng)理Roberto Zafalon表示:“ENIAC JU研究項目與意法半導(dǎo)體的運用科技提高生活品質(zhì)的承諾相結(jié)合可產(chǎn)生更大的協(xié)同效應(yīng),項目成員和利益相關(guān)者受益,包括ENIAC成員國,都會從這個重要項目受益。我們期望開發(fā)成果最終可轉(zhuǎn)化為長期的市場增長和寶貴的知識型就業(yè)機(jī)會。”

ENIAC JU是一個公私合營的產(chǎn)學(xué)聯(lián)盟,成員包括ENIAC成員國、歐盟和歐洲納米電子技術(shù)研究協(xié)會(AENEAS),目前該組織通過競標(biāo)的形式為其招標(biāo)的研發(fā)項目提供大約18億歐元的研發(fā)經(jīng)費。意法半導(dǎo)體負(fù)責(zé)的Lab4MEMS項目于2012年中標(biāo),2013年1月開始運作。
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