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采用適合工藝技術(shù)制造硅MEMS振蕩器
MEMS振蕩器商用化的一個(gè)最大障礙是開(kāi)發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。本文展示了一種適用于MEMS振蕩器的制造工藝，以及一組可與傳統(tǒng)的石英晶體技術(shù)相媲美的測(cè)量數(shù)據(jù)。這些測(cè)量數(shù)據(jù)是目前為止得到的最穩(wěn)定的MEMS振蕩器數(shù)據(jù)。
2008-10-09
純凈 振蕩 頻率 穩(wěn)定
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固態(tài)混合電勢(shì)氣體傳感器的原理和應(yīng)用
以混合電勢(shì)響應(yīng)為基礎(chǔ)的固態(tài)高溫氣體傳感器為各種還原性氣體提供了一種簡(jiǎn)單快速并且低成本的原位在線測(cè)量。這些傳感器響應(yīng)機(jī)理因電極材料、電極微觀形貌等不同而有所變化，主要分為混合電勢(shì)與被測(cè)氣體濃度呈對(duì)數(shù)關(guān)系或者線性關(guān)系兩種類(lèi)型。其響應(yīng)行為取決于電極反應(yīng)的Butler-Volmer動(dòng)力學(xué)方程的具體...
2008-10-09
混合電勢(shì) 氧化 還原 傳感器
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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報(bào)、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器，整個(gè)流程工藝簡(jiǎn)單標(biāo)準(zhǔn)，薄膜材料選擇單晶硅，采用接觸式結(jié)構(gòu)，利用陽(yáng)極鍵合形成真空腔，最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜并由試驗(yàn)結(jié)...
2008-10-09
電容式壓力傳感器 敏感薄膜 KOH腐蝕
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表面橫波生物傳感器的靈敏度分析
近年來(lái)在生物檢測(cè)研究方面，聲表面波傳感器因具有體積小、重量輕、性能穩(wěn)定、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。本文將推導(dǎo)靈敏度、加工等方面對(duì)表面橫波傳感器靈敏度的影響，并進(jìn)行相關(guān)分析。
2008-10-09
表面橫波傳感器 柵陣 生物檢測(cè)
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MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)與制作
本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)原理及軟件模擬結(jié)果，并依據(jù)理論與模擬結(jié)果設(shè)計(jì)了工藝流程，對(duì)設(shè)計(jì)的懸梁式測(cè)風(fēng)傳感器進(jìn)行了測(cè)量。
2008-10-08
MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器 ANSYS CFD 工藝制作
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4G CMOS成像器提高安全性能
CMOS成像更新?lián)Q代越來(lái)越快，目前正開(kāi)始經(jīng)歷第四代。本文描述了CMOS成像器在汽車(chē)市場(chǎng)的用途、4G CMOS成像器的安全性能及其在汽車(chē)方面的潛在市場(chǎng)。
2008-10-08
CMOS成像 CCD 車(chē)用市場(chǎng)
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汽車(chē)電子如何推動(dòng)無(wú)源器件發(fā)展
隨著汽車(chē)電子化、信息化的深入，以MCU為代表的有源器件在汽車(chē)上的應(yīng)用日益增多，不過(guò)同時(shí)，汽車(chē)上應(yīng)用的無(wú)源器件也在增加，以傳感器為例，“1980年汽車(chē)中傳感器的數(shù)量平均為20個(gè)，預(yù)計(jì)到2010年汽車(chē)中傳感器的平均數(shù)量將增加到150個(gè)?！边@是村田制作所株式會(huì)社事業(yè)部長(zhǎng)宮崎二郎在村田汽車(chē)研討會(huì)上透露...
2008-10-06
汽車(chē)電子 無(wú)源器件 電容器 傳感器 電阻 電感
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基于熱釋電傳感器p7187的人體測(cè)溫儀的設(shè)計(jì)
熱釋電紅外探測(cè)器是由熱釋電紅外傳感器、菲涅耳透鏡及電子電路組成的一種光電檢測(cè)裝置。它能無(wú)接觸地檢測(cè)人體運(yùn)動(dòng)時(shí)輻射出的紅外線并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出。本文介紹了一種用于快速測(cè)量人體體溫的p7187熱釋電傳感器的原理及其基本設(shè)計(jì)電路。
2008-10-05
熱釋電紅外傳感器 p7187 人體表面溫度
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基于集成壓力傳感器的無(wú)源胎壓監(jiān)控系統(tǒng)研究
近代如何防止爆胎已成為安全駕駛的一個(gè)重要課題，保持標(biāo)準(zhǔn)的車(chē)胎氣壓和及時(shí)發(fā)現(xiàn)車(chē)胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵，而汽車(chē)輪胎壓力監(jiān)視系統(tǒng)將是預(yù)防爆胎的理想工具。本文描述了胎壓監(jiān)控的基本原理，給出無(wú)源TPMS磁場(chǎng)電磁耦合和直接胎壓監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)與分析方案，在分析了輪胎壓力監(jiān)摔系統(tǒng)的原理及各種不同解...
2008-10-05
胎壓監(jiān)控 直接系統(tǒng) 間接系統(tǒng) 電感耦合
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